فارسی
English
Español
Português
русский
Français
日本語
Deutsch
tiếng Việt
Italiano
Nederlands
ภาษาไทย
Polski
한국어
Svenska
magyar
Malay
বাংলা ভাষার
Dansk
Suomi
हिन्दी
Pilipino
Türkçe
Gaeilge
العربية
Indonesia
Norsk
تمل
český
ελληνικά
український
Javanese
فارسی
தமிழ்
తెలుగు
नेपाली
Burmese
български
ລາວ
Latine
Қазақша
Euskal
Azərbaycan
Slovenský jazyk
Македонски
Lietuvos
Eesti Keel
Română
Slovenski
मराठी
Srpski језик2025-06-20
شفت ویژه شفت خطی با دقت بالاجزء اصلی انتقال تجهیزات اتوماسیون دقیق و ابزار تحقیقات علمی است. طراحی، ساخت و عملکرد آن بسیار فراتر از راهنماهای خطی معمولی است.
دقت موقعیت یابی عالی و تکرارپذیری: این اصلی ترین ویژگی آن است. معمولاً دقت و تکرارپذیری موقعیت یابی میکرون (μm) یا حتی زیر میکرون (مانند ± 1μm یا بالاتر) دارد. این برای کارهایی که نیاز به دقت بسیار بالایی دارند ضروری است.
خطای حرکت بسیار کم: خطای صافی: انحراف مسیر حرکت از خط مستقیم ایده آل بسیار کم است. خطای صافی: انحراف صفحه حرکت از صفحه ایده آل بسیار کم است.
خطای Pitch/Yaw/roll: خطای زاویه چرخش محور حول هر محور در حین حرکت به شدت کنترل می شود. خطای Abbe: طراحی با بهینه سازی سازه (مانند طراحی خطی/همسطح ریل راهنما و نقطه اندازه گیری) یا استفاده از الگوریتم های جبران، تاثیر خطای Abbe را تا حد زیادی کاهش می دهد.
سفتی بالا:شفت ویژه شفت خطی با دقت بالادارای طراحی ساختاری مستحکمی است و مواد و فرآیندهای ساخت آن عالی هستند، که آن را قادر میسازد در برابر تغییر شکلهای کوچک ناشی از بارهای خارجی (مخصوصاً نیروهای جانبی یا گشتاورها) مقاومت کند و اطمینان حاصل کند که همچنان میتواند دقت بالایی را در زیر بار حفظ کند. اصطکاک و حرکت صاف: روش های هدایت کننده با کارایی بالا (مانند راهنماهای توپی از پیش بارگذاری شده، راهنماهای غلتکی، راهنماهای هیدرواستاتیک و راهنماهای شناور هوا) با اصطکاک کم و پایدار استفاده می شود. این به حرکت یکنواخت بسیار نرم (بدون خزش) و پاسخ سریع شروع-ایست دست می یابد. پایداری حرارتی عالی و سازگاری محیطی: از موادی با ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین (مانند سرامیک، آلیاژهای خاص) استفاده کنید یا تغییر شکل حرارتی را از طریق طراحی ساختاری/کنترل دما فعال جبران کنید تا از دقت در افزایش دما یا محیط های نوسان اطمینان حاصل کنید. برخی از مدل ها قابلیت ضد آلودگی خوبی دارند (به ویژه شناور هوا، شناور مغناطیسی) یا سازگاری با خلاء.
سیستم بازخورد با وضوح بالا: معمولاً مقیاسهای شبکهای خطی با وضوح فوقالعاده بالا (مانند وضوح نانومتری) یا تداخلسنجهای لیزری به عنوان بازخورد موقعیت حلقه بسته، مبنای دستیابی به کنترل در سطح نانومتری هستند.
زمینه های کاربردی اصلی: ساخت و بازرسی نیمه هادی ها: دستگاه لیتوگرافی (اسکن مرحله ای): هسته مرحله ویفر و مرحله ماسک موقعیت یابی دقیق در سطح نانومتری است. تجهیزات بازرسی ویفر: حرکت دقیق ایستگاه پروب و سکوی تصویربرداری میکروسکوپی برای بازرسی و اندازه گیری نقص. بسته بندی و آزمایش تراشه: محور حرکت هسته ماشین های قرار دادن با دقت بالا، ماشین های اتصال سیم و ماشین های مرتب سازی آزمایشی. اپتیک و فوتونیک دقیق: پردازش و بازرسی اجزای نوری: نوشتن مستقیم لیزری، ابزارهای ماشین تراش الماس، و محورهای تعیین موقعیت سکوهای تداخل سنج.
میکروسکوپ (هم کانونی، با وضوح فوق العاده): اسکن در مقیاس نانو و موقعیت یابی صحنه و عدسی شیئی. تجهیزات پردازش لیزری: محوری برای موقعیت یابی دقیق مسیر پرتو یا قطعه کار در تجهیزات میکرو پردازش، علامت گذاری، حفاری و برش. اندازه گیری و بازرسی پیشرفته: دستگاه اندازه گیری سه مختصات: حرکت با دقت بالا بازوی اندازه گیری در فضای سه بعدی.
نمایه سنج / زبری سنج / گرد سنج: موقعیت یابی دقیق و حرکت اسکن سنسورها.
پلت فرم کالیبراسیون ردیاب/تداخل سنج لیزری: مسیر حرکت مرجع دقیق را ارائه می دهد. علوم زیستی و تجهیزات پزشکی: توالیسنجی ژن: مرحلهبندی و فوکوس دقیق مرحله نمونه و سر اسکن نوری. تجهیزات دستکاری سلولی/میکرو تزریق: هدف گیری و حرکت دقیق میکروسوزن ها یا پرتوهای لیزر. تجهیزات تصویربرداری پزشکی پیشرفته: اجزای تعیین موقعیت دقیق آشکارسازها در PET/CT/MRI. تولید پیشرفته و تحقیقات علمی:
مرکز ماشینکاری فوق العاده دقیق: حرکت تغذیه محور ابزار ماشین. FIB/SEM: دستکاری مرحله نمونه در میکروسکوپ الکترونی پرتو یون متمرکز/روبشی. پلت فرم آزمایشی علم مواد: موقعیت یابی، بارگذاری یا اندازه گیری دقیق نمونه های کوچک. دستگاه آزمایشی فناوری کوانتومی: کنترل جابجایی فوق العاده دقیق در محیط شدید (دمای پایین، خلاء) مورد نیاز است. هوا فضا و دفاع: میز تست تجهیزات ناوبری اینرسی، سیستم هدف گیری نوری، مکانیسم کنترل سروو دقیق و غیره.
شفت ویژه شفت خطی با دقت بالاسخت افزار اساسی برای دستیابی به پیشرفت های تکنولوژیکی پیشرفته و ارتقاء فرآیند تولید است. ویژگیهای «دقت بالا، استحکام بالا، پایداری بالا و خطای کم» آن را به یک جزء اصلی کلیدی ضروری در زمینههایی مانند ساخت تراشه، اندازهگیری دقیق، زیستپزشکی، تحقیقات علمی پیشرفته و غیره تبدیل میکند که الزامات سختگیری در مورد دقت حرکت دارند و مستقیماً حد بالای عملکرد تجهیزات را تعیین میکنند.